Μερικά μη συλλεγμένα σωματίδια ή μόρια αερίου μπορεί να έχουν εξαιρετικά σοβαρές συνέπειες σε ορισμένες διαδικασίες. Φανταστείτε τι ζημιά θα μπορούσε να κάνει ο μολυσμένος αέρας στην κατασκευή ημιαγωγών, σκληρών δίσκων και σε άλλες εξαιρετικά ευαίσθητες διεργασίες.
Στην κατασκευή ημιαγωγών, οι προηγμένες μέθοδοι παραγωγής στο μπροστινό μέρος απαιτούν παροχή πολύ καθαρού αέρα με τις απαιτήσεις καθαριότητας να αυξάνονται συνεχώς. Το κρίσιμο μέγεθος σωματιδίων για το περιβάλλον πλακιδίων είναι τώρα κάτω από τα 25 nm (2009) και γίνονται προβλέψεις ότι αυτό το μέγεθος θα συνεχίσει να συρρικνώνεται στα 10 nm έως το 2017. Η αιωρούμενη μοριακή μόλυνση (AMC) είναι πλέον ένα σημαντικό ζήτημα για όλα τα προηγμένα μικροηλεκτρονικά εργοστάσια. Έχει παρατηρηθεί ένα ευρύ φάσμα επιδράσεων AMC που επηρεάζουν την απόδοση παραγωγής. Για παράδειγμα, η όξινη διάβρωση σκληρών δίσκων ή πλακών, η συμπυκνώσιμη οργανική εναπόθεση σε ευαίσθητες επιφάνειες ή η έκθεση σε χαμηλά επίπεδα αμμωνίας έχουν όλα αποδειχθεί ότι επηρεάζουν διάφορα στάδια της διαδικασίας.
Η καρδιά του καθαρού δωματίου είναι τα φίλτρα του, αλλά υπάρχουν πολλά ζητήματα σχετικά με την ταξινόμηση του δωματίου, την επιλογή του φίλτρου και τον τρόπο με τον οποίο τα φίλτρα επηρεάζουν το περιβάλλον.
Το SAF είναι σε καλή θέση για να προτείνει την καλύτερη λύση για προηγμένο έλεγχο σωματιδίων και AMC χάρη στην εμπειρία άνω των 16 ετών στον τομέα της μικροηλεκτρονικής και του ελέγχου μόλυνσης ημιαγωγών και μέσω της συμμετοχής μας στον Διεθνή Οδικό Χάρτη τεχνολογίας για ημιαγωγούς.
Τα HEPA, ULPA και τα μοριακά φίλτρα παράγονται σε ελεγχόμενα περιβάλλοντα σε εργοστάσια πιστοποιημένα κατά ISO 9000 της SAF. Μπορούμε να παράγουμε τον ίδιο τύπο φίλτρων σε πολλαπλές εγκαταστάσεις παραγωγής. Η μεγάλη παραγωγική μας ικανότητα διασφαλίζει τη διαθεσιμότητα των προϊόντων μας ανά πάσα στιγμή σε όλο τον κόσμο.
Προστασία:
-
Γκοφρέτες και ημιαγωγοί
-
Μικροηλεκτρονικός εξοπλισμός διεργασιών
-
Σκληροί δίσκοι
-
Τυπωμένα κυκλώματα
-
Επίπεδες οθόνες
-
Ηλιακούς συλλέκτες